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<取扱い商品-アナログウェア>スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまでアナログウェア No.13半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ
特集
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで 半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ 目 次
スマートホン用の小型・低価格部品からディジタル・シネマ用の高付加価値ミラーアレイまで 半導体微細加工技術「MEMS」の最新テクノロジ 第1部 MEMSの利用状況 自動車やスマートホンなどに使われる 第1章 量産タイプのMEMSの利用状況 IT機器，安全，医療/健康関連などで使われる 第2章 量産/高付加価値タイプのMEMSの利用状況 インフラ保全，製造/検査/科学機器などで使われる 第3章 高付加価値タイプのMEMSの利用状況 第2部 MEMSの製作技術 パターニングとエッチングから堆積，接合まで 第1章 MEMS製作の基本プロセス LSIウェハ上への製作とパッケージング 第2章 MEMSの組み合わせプロセス ワイヤレス通信システム用のMEMSを例にして 第3章 転写による集積化MEMSの製作 試作から製品開発までを高効率化するために 第4章 MEMSのオープン・コラボレーション |
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